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太阳能晶圆湿制程中的自动分片效率提升

发布时间:2015-10-28 16:02   类型:应用案例   人浏览

太阳能,自动分片

位于德国Zimmern ob Rottweil市的ACI-ecotec GmbH & Co. KG公司,为全球太阳 能产品领域中的市场领导者。其中ecoSplit部门是负责晶圆切割、预清洗制程中的自动分片制程。他们目前在研发一套ecoSplitTM-IXL系统,该系统能将制程效能提升到每小时分片高达4300片的效能,因此,寻找一个可靠、稳定度高的解决方案来感测晶圆则是一件非常重要的事。由于在制程前端的清洗过程中,传感器会接触到具酸性与颗粒状的液体,接着进入湿制程中进行晶圆分片检测。一开始,ACI-ecotec公司虽然使用了其他品牌号称具有高防护等级的光电传感器,但仍然遭遇到许多的问题。例如:制程中的水会流入传感器的接头并渗入传感器内部造成传感器的失效,导致工厂必须停工;另外维修的时间很长并造成制造成本大幅提高。后来当他们与SICK讨论解决上述问题方案的过程中,ACI-ecotec公司的员工被SICK的W4 INOX不锈钢耐酸碱光电传感器所深深吸引。

现有问题:

易渗透、不抗酸碱腐蚀的传感器

无法提高自动化晶圆分片检测的速度

解决方案:在半导体自动分片系统中,SICK 的W4 INOX光电检测器具有不锈钢外壳且能够耐酸碱的特性,对于湿制程晶圆的可靠检测能力给予最大的保证。

为了找到最佳的检测解决方案,ACI-ecotec公司不断的测试各种厂牌的光电传感器。最后,决定采用SICK的W4 INOX不锈钢耐酸碱光电传感器。此传感器的设计在外壳坚固程度及抗酸碱能力,远远高于业界中其他的高防护等级IP 69K标准。这点可从ACI-ecotec公司的测试报告证实:SICK W4 INOX传感器是唯一没有使任何液体进入传感器本体,也没有因外力震动或冲刷而造成损坏或侵蚀的传感器。另一优点是与其他品牌的传感器比较之下,证明了SICK W4 INOX传感器的检测效能是业界同级产品中最优异的。这也意味着SICK W4 INOX传感器能满足ACI-ecotec公司自动晶圆分片系统中所有的需求,SICK W4 INOX耐酸碱光电传感器能够降低工厂因传感器故障造成停机的风险与提升晶圆分片的产能。

客户的效益:

超坚固材质的外壳降低工厂的因传感器故障造成停机的机率与提升晶圆分片的产能

全球化与快速的支持服务

操作简单、高可靠度检测、小巧外型设计大大节省安装空间

单一传感器解决半导体与电子业的多样化需求


ACI-ecotec公司目前正使用SICK W4 INOX不锈钢耐酸碱光电传感器。它的坚固外壳与抗腐蚀的材质,能够降低工厂因传感器故障时而造成停工的风险,也可降低维修保养成本。降低工厂停工的风险也代表着该自动分片系统的效能能够增加;传感器其独特的光学组件概念让操作与校准时变得更加容易。而在ACI-ecotec公司的自动分片系统中,也因为传感器的小巧外壳,而节省了许多安装空间。对于他们来说,SICK能够以单一个组件即可满足电子业与半导体产业中的众多需求(对象检测、质量管控、对象分流追踪),且全球化服务网络,可藉由全球各地分公司来提供最快速与全面的服务与支持,因此认定SICK是最佳的合作伙伴。

本文地址:http://www.ca800.com/apply/d_1ntolamnhdmb1_1.html

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