①单动子最大行程：720mm-X轴(可根据客户实际需求调整)，100mm-Y1、Y2轴；
②直线电机推力：
X轴持续推力：249N，峰值推力：634N；
Y1、Y2轴持续推力：96N，峰值推力：253N；
③最大负载8Kg；
④加速度：X轴-1g，Y轴-0.5g
⑤最大速度：1m/S;
⑥重复定位精度：±2μm；
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