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欧姆龙高级温控方案 | 多点化温控,提升微细加工的生产品质,同时保持设备紧凑

发布时间:2023-12-08 17:18   类型:解决方案   人浏览


半导体逐渐微细化/积层化,生产流程也随之逐渐复杂,温度控制的重要性与日俱增。尤其是即使细微的温度偏差和波动也会影响品质,因此最小化温度控制幅度至关重要。此外,由于精度提高,设备内的温度控制区域数量不断增加,为确保设备占地面积保持不变,必须在控制柜内的有限设备空间中高效配置,兼顾生产品质和空间效率成为一大课题。

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自动控制温度波动,保障生产品质稳定

使用分辨率达到以往 10 倍、具备外部干扰抑制功能的高性能温度控制单元(NX-HTC),最大程度降低温度波动幅度。

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使用外部干扰抑制功能自动调整操作量,实现更为精细的控制。

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通过整合功能令外形更纤巧,实现紧凑的设备分散配置

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实现高级温度控制与多点设备整合的产品系列

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