据市场调研公司EmTech Research，2004年微电机系统(MEMS)的销售额和单位出货量均比2003年增长15.2%，但预计销售额年增长率将下降至一位数。
各器件类别的销售额改善情况比较平均，传感器和驱动器的市场普及率上升。按2004年销售额计算，德州仪器(Texas Instruments)取代惠普(Hewlett Packard)，成为最大的MEMS器件供应商。但在单位出货量方面，惠普仍然排在首位。EmTech公司表示，在2009年以前，以手机应用为主的通讯市场MEMS的用量增幅将最大，占总体MEMS销售额的份额将增长近三倍。
“MEMS的总体增长预计会发生根本性改变。”EmTech Research的研究副总裁及首席分析师Marlene Bourne在声明中表示。“未来五年销售额增长率预计会下降至一位数，尽管单位出货量会继续以两位数的速度增长。这是各种MEMS器件纷纷进入市场的的直接结果。”