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产品详情

参数

包装

大动作范围：最大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人。
手臂采用连杆机构实现高钢性。
采用真空内传送带驱动实现低放出气体性能。
手臂可内置基板传感器用配线。

项目		规格	备注
名称		SEMISTAR-VD95D
机型		XU-RVD1450D6-A10(配传感电缆)
构造		水平多关节形(4个自由度)
动作范围	L，R轴(伸缩)	2300mm
	S轴(旋转)	-170°~+170°
	U轴(升降)	150mm
动作时间*1 (最高速度运作时)	L，R轴(伸缩)	3.2秒以下	2300mm伸缩距离
	S轴(回转)	3.8秒以下	340deg旋转距离(但L，R=0)
	U轴(升降)	2.5秒以下	150mm升降距离
重复定位精度*2		各轴±0.3mm	抓手安装部分中心位置时
手臂抖动精度		±0.3mm以下	水平方向，抓手安装部分中心位置时
负载		95KG/手臂	含抓手重量
容许惯性力矩(CD2/4)		最大118kg·m2	含抓手重量，抓手安装部分中心位置时
耐真空度		1*10-6Pa
本体质量		1500kg
适用控制柜式样		ERDR-VD0095D-A00	三相AC200V，3.0kVA

*1：动作节拍不保证带有基板时搬运速度。由于抓手的形状及抓手的安装部分的钢性产生共振时，会影响动作节拍，请重新设定。
*2：依据JISB8432标准的动作重复定位精度。但有无工件时负载变动以及使用速度的差异、温度变化的影响不考虑在内。

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