SJ6000机床激光干涉仪精度测量是一个交流测试系统，当激光光束强度受环境影响发生变化时，其频率不会受光强变化影响发生变化，也不会因电平变化造成干涉信号的频率改变。因此，它的干扰能力强，精度高，测量结果可靠，在高精度要求的芯片光刻机、计量检测和前沿科研领域得到广泛应用。

产品功能

（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；
（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
（6）SJ6000机床激光干涉仪精度测量支持手动或自动进行环境补偿。

测量软件

（1）友好的人机界面；
（2）丰富的应用功能模块；
（3）向导式的操作流程；
（4）简洁化的记录管理；
（5）支持中文、英文和俄文界面；
（6）支持企业专属模板定制。

SJ6000机床激光干涉仪精度测量分辨率可达0.01″，系统测量精度为±1″，基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。主要由SJ6000激光干涉仪主机、角度镜组、WR50自动精密转台、SJ6000回转轴测量软件构成。架设灵活，对各种复杂结构的机床、平台和导轨都具有广泛适用性，测量快速简便，减少重复定位测量的时间，同时得到精确直观的检测数据。