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NLS11/12共焦传感器测量系统基于光谱共焦的原理,由光学头和控制器组成,之间通过一根光缆连接。共焦传感器进行了小型化的封装,便于集成到现有的系统中。 共焦传感器应用领域 应用于表面难以测量的物体(技术性及困难表面),是一种非接触式轮廓测量的通用的测量解决方案。理想情况下,共焦传感器适合于敏感的,软的或液体的…
NM-X-15A纳米定位尺寸小,毫秒级响应时间,应用在需要高可靠性和高输出的方面。轻质量,高刚度,可以用于极端高的带宽环境。 电容传感器提供了高于纳米级的分辨率,实现在16微米内的闭环控制。柔性导轨使运动平滑,运动范围可减小到5微米。因为结合了数字闭环控制器,NM-X-15A纳米定位可以实现高于纳米级的响应。 NM-X-1…