成功事例 | 干法刻蚀机上的温度控制案例：通过PID温控提升同步升温效果
发布时间：2026-06-23 17:19 类型：
应用案例 人浏览
干法刻蚀机的核心是真空反应腔，其中央卡盘通过静电吸附固定晶圆。工艺过程中，从反应腔上方通入卤族气体、氟基气体等反应气体，这些气体在高频电场作用下被电离，形成等离子体。等离子体轰击晶圆表面，通过物理溅射直接去除材料原子，或通过化学反应生成挥发性化合物，从而实现精确的刻蚀效果。
■ 分析热盘特性，建立正确数学模型。
■ 规划控温曲线高速升温，同时保证同步性。
■ 引入系统辨识技术，确定PID控制律中目标值和反馈值两者的准确数学模型。
■ 使用过渡过程处理TD算法，规划一条合理的实际控温曲线，实时反推PID的多分区目标值，周期性作用到PID控制中。
工程师层：升温时间由90秒缩短到65秒，同步性偏差由6℃提升至1.8℃，提升热盘升温过程中的同步效果。
管理层：通过温度控制技术关联蚀刻速率调控，支持加工精度与能效的协同优化，探索资源效率提升路径。
经营层：通过持续的技术创新与应用，优化产品性能与生产流程，助力客户构建市场差异化优势，服务产业高质量发展。
若您对自动化设备感兴趣
欢迎扫码留言，我们将与您取得联系，并有机会获得精美礼品！
欧姆龙血压计A862
抽奖活动规则
-
参与方式及条件：活动月内（每月1日-月末），在任意产品介绍页找到抽奖入口，填写真实咨询信息（姓名+公司名称+手机号+抽奖奖品寄送地址），提交即获得1次参与资格（单月仅1次有效，重复无效）。
-
奖品：1份（2026年6月奖品为欧姆龙血压计A862，价值339元）
-
开奖时间：每月最后一日开奖，开奖后7个工作日内在本公众号公布中奖名单，并通知中奖人。
-
奖品交付方式及时间：开奖后15个工作日内以包邮邮寄方式发出，中奖人无需额外支付任何费用。
-
弃奖条件：中奖人地址不完整、手机号错误、拒收退回，视为中奖人弃奖。奖品不顺延，不再邮寄。
-
活动解释权归欧姆龙自动化（中国）有限公司所有。
本文地址：http://www.ca800.com/apply/d_1o7g4u5if3jl1_1.html
拷贝地址
版权声明：版权归中国自动化网所有，转载请注明出处！