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温控方式
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UT三区彼此独立,任何一区在加热过程中出现温差过大,另外两区不会补偿协作,而是各自独立工作,等该区出现保持时,其他两区也会保持等待。
ALD三区互相联动制约,一区在加热过程中出现温差过大,另外两区会协作补偿,达到平衡。
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ALD烧结炉的控温方式要比UT炉的科学。UT烧结炉经常出现的程序保持与控温方式有一定的关系,后经公司技术人员进行调整、改进(增大程序保持温差值、降低程序升温速率、电气部件改进),以后有很大提升,目前比较正常。
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脱蜡方式
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UT烧结炉氢气脱蜡,炉膛与脱蜡仪压力相同,H2脱蜡后,蜡蒸汽附着在炉壁上凝结成液体流入蜡道后,进入蜡槽。
ALD烧结炉氢气压差脱蜡,炉膛压力高于脱蜡仪压力,H2脱蜡后,压差使H2及蜡蒸汽从炉膛进入脱蜡管道,石蜡在蜡槽凝结,H2被燃烧。
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UT 脱蜡时间短,脱除不干净,炉壁、炉门残余石蜡,造成UT碳势相对ALD较高。
ALD脱蜡时间长,脱除干净,炉壁、炉门不会有残余石蜡,ALD碳势相对UT低。
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