创科3D测量技术
解决方案：1、采用高度分辨率1um的线激光3D相机，通过3D 曲线合成图分析A区每个点位的高度值,在>10um的地方做出标识。
3D 线激光实物图
线激光移动方向由前往后移动，3D分析软件把拍照到的高度曲线图进合成并做数据分析。
ProFile 图
2、采用一个1000万像素级别的CCD检测chassis 和 Flex 的偏移量
（检测试验图，非真实）
材料清单
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序号
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名称
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型号
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数量
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用途
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1
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3D线激光
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Ck-3D80/45/2.5
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1
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检测表面凹凸
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2
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相机
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Ck-H1000MI
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1
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检测间距
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3
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镜头
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CK-LD25
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1
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检测间距
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4
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光源
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1
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检测间距
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