成功事例 | 涂胶显影热盘多区高速同步均温控制方案

对晶圆加工的热盘进行多温区同步控温。

■ 客户设备处在洁净室内，柜内空间有限，需要节省空间。

■ 为了保证半导体晶圆的品质(热盘温度不均可能导致晶圆变形等不良），需要热盘整体高速同步升温，热盘各个区域温度保持一致。

核心产品：温度控制单元 NX-TC

■ 每台单元支持8Ch控制,仅30mm宽度，大大节省面积。同时搭配小型连接器端子台XW2K，进一步节省空间。

■ 通过温度均一FB实现高速设定且可保存多种配方，实现针对多种对象的均匀加热的自动补偿算法及温度均一控制技术。各分区控温精度达到了±0.1℃，温度均一性达到了R=0.27。