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对强腐蚀性有机溶剂进行液位检测的方案

发布时间:2025-07-30 17:06   类型:应用案例   人浏览

应用介绍



【行业】SEMI

【设备】清洗机/CDS/SDS

【用途】去除晶圆表面的颗粒污染物、氧化层等

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应用场景


对储液罐(tank)的液位进行检查。

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解决课题


部分有机溶液(氢氟酸)具有腐蚀性,无法使用透明玻璃管显示液位。

价值提案


核心产品
光纤传感器E32-D82F1(接液型)
光纤放大器E3NX-FA



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 接液型光纤传感器可部署于储液罐(tank)内直接接触液体测量

 200℃的耐热性并有氟树脂涂层,耐化学性强,满足清洗槽温度和腐蚀要求,实现对有机溶液的液位检测

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