矽翔微机电系统有限公司制作的非防爆类的MEMS气体质量流量计可用于常规环境工业气体的计量、监测和控制。
这类流量计的封装可根据用户的具体使用要求来设计、制造。从而使得其应用领域更加广范。流量传感器可采用插入式、内壁封装式等多种的安装形式，以适用于气体管径、流量范围等不同的需求。
主要应用
1. 工业用气体测量及过程控制
2. 压缩空气流量测量和控制
3. 氯气流量测量和控制
主要功能
• 实时显示瞬时流量和累计流量
• 不同气体应用可选择相应修正因子
• 自动断电/故障记录和数据管理
• 可充电备用电源
• RS232/RS485数字信号输出
• 标准法兰/螺纹连接
• 用户界面软件
• 4～20mA或脉冲输出（选项）
• 无线传输功能（选项）
技术参数
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MFG5000 |
MFG4000 |
MFG3000 |
MFGX4000 |
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适用介质 |
清洁气体 |
清洁气体 |
清洁气体 |
清洁气体 |
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压力/温度 |
<1.0Mpa/10～60℃ |
<1.0Mpa/10～60℃ |
<1.0Mpa/10～60℃ |
<常压/5～50℃ |
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通径范围 |
15～50mm |
5～25mm |
1～15mm |
19.5mm |
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测量范围 |
0.05～65m/s |
0.03～6m/s |
0.01～6m/s |
0.03～6m/s |
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测量精度 |
±（2.0＋0.5FS）％ |
±（1.5＋0.5FS）％ |
±（1.5＋0.5FS）％ |
±（1.5＋0.5FS）％ |
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重复性 |
±1.0％ |
±0.75％ |
±0.75％ |
±0.75％ |
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零点输出 |
2.5±0.05 |
2.5±0.05 |
2.5±0.05 |
V |
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供电 |
8～24V |
8～24V |
8～24V |
8～24V |
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输出 |
LCD显示/RS485/4-20mA（选件） |
LCD显示/RS485/4-20mA（选件） |
LCD显示/RS485/4-20mA（选件） |
LCD显示/RS485/4-20mA（选件） |
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安装连接 |
NPT/BPST |
NPT/BPST |
NPT/BPST |
ISO-22mm |
机械结构和材料
