MEMS流量芯片技术为流体测量提供了全新的拓展空间
矽翔微机电系统有限公司（Siargo,Ltd.)成立于2003年，其公司总部位于美国加州硅谷。
矽翔公司生产的具有自主知识产权的MEMS流量芯片及其封装技术为流体的测量提供了全新的拓展空间。该流量芯片为本质安全型，具有低功耗、超大量程、高精度、易于数据远传和网络化等特点。可用于各类气体及其它微流体（含液体）的流量和浓度的测量。其产品已在医疗设备、工业及商用天然气计量、工业生产气体控制、楼宇自控等方面得到了广泛的应用。
矽翔公司2005年在中国上海、成都及北京成立了分公司或办事处。
矽翔公司生产的具有自主知识产权基于集成MEMS/NEMS芯片的传感器及微系统、系统产品可用于能源、医疗设备、工业气体计量和控制、为流体计量和控制以及通讯工程的各类应用中。
目前矽翔公司提供的主要产品有：
世界领先的低功耗MEMS流量传感器及在此基础上开发生产的流量计（包括在线式及插入式流量计），具有超大量程、高精度等特点。
使用电池供电的热质量气体流量计、两线制气体质量流量计并具有超大量程、高精度、易于远程数据传输及网路化等特点。
专门为医疗应用设计的流量传感器，可用液体消毒、清洗；具有变量程、双向测量等特点。
用于气体或液体浓度检测的传感器，无衰减、功耗低、响应快，并可以同时测量流量和浓度的变化。