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直流磁控溅射电源

直流磁控溅射电源

分类:高压电源
品牌:AE-Advanced Energy
厂商:深圳利方达科技有限公司
型号:MDX
相关行业:

发布时间:2012-04-10 10:41
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产品详情

MDX系列500W 在真空环境中经久耐用,能够在磁控环境中对不同类型的弧进行多级抑制和灭弧。在基本磁控溅射、射频偏压直流溅射以及直流偏压射频溅射中表现一流。其小巧的尺寸使其非常适合于实验室系统和小规模的生产环境。

优势:

●超载内置保护

●可靠性和耐用性

●快速反应时间

●兼容性认证

特点:

●多级弧抑制及灭弧

●用户I/O接入

●功率、电流或电压调节功能

规格:

●输入电压:90-132VAC(50-60HZ),1Φ

          180-265VAC(50-60HZ),1Φ

●输入电流:10A @120VAC @500W

          6.3A @230VAC @500W

●输出电压/电流:0-600V @0-1A,500W

               0-1200V @0-0.5A,2000W

●输出功率:0-500W

●尺寸:(单)86.63×215.9×406.4mm(高×宽×长)

     (双)86.63×482.6×406.4mm(高×宽×长)

●重量:(单)5.57KG

     (双)11.14KG

MDX 500W

 

1 kW 和1.5 kW

MDX 系列1 kW 和1.5 kW 电源在真空环境中经久耐用,其小巧的尺寸使其成为实验室系统的理想解决方案。它们最常用作直流磁控溅射电源;在该领域,二者精密的调节性能、一流的灭弧功能和较低的存储输出能量使之成为业界领先产品。它们还在射频溅射和蚀刻系统中被用作精密调节的偏压电源。

优势:

●针对标准 Z 和低 Z 应用的两种配置

●高频开关电路从线路到负载的效率超过90% 

●Arc-Out™ 抑制电路

●常用作直流磁控溅射电源

特点:

●尺寸小

●输出纹波很低

●可调节抑弧时间

规格:

●输出功率:MDX 1KW:1000W,MDX 1.5KW:1500W

●输出电压:1000V,1300V;500V,750V

●点火电压:1500V;900V,1200V

●输入电压/电流:MDX 1KW:115VAC,50/60HZ±10%,16Amax;

   208/220VAC 50/60HZ±10%,8.9A

●MDX 1.5KW:208/220VAC 50/60HZ±10%,13.4A

●尺寸:175.3×266.7×400mm

●重量:8.6KG

MDX 1KW1.5KW























































































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