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深圳利方达科技有限公司
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直流磁控溅射电源
直流磁控溅射电源
分类:
高压电源
品牌:
AE-Advanced Energy
厂商:
深圳利方达科技有限公司
型号:MDX
相关行业:
发布时间:2012-04-10 10:41
浏览人数:
人
产品详情
MDX系列500W 在真空环境中经久耐用,能够在磁控环境中对不同类型的弧进行多级抑制和灭弧。在基本磁控溅射、射频偏压直流溅射以及直流偏压射频溅射中表现一流。其小巧的尺寸使其非常适合于实验室系统和小规模的生产环境。
优势
:
●超载内置保护
●可靠性和耐用性
●快速反应时间
●兼容性认证
特点
:
●多级弧抑制及灭弧
●用户I/O接入
●功率、电流或电压调节功能
规格:
●输入电压:90-132VAC(50-60HZ),1Φ
180-265VAC(50-60HZ),1Φ
●输入电流:10A @120VAC @500W
6.3A @230VAC @500W
●输出电压/电流:0-600V @0-1A,500W
0-1200V @0-0.5A,2000W
●输出功率:0-500W
●尺寸:(单)86.63×215.9×406.4mm(高×宽×长)
(双)86.63×482.6×406.4mm(高×宽×长)
●重量:(单)5.57KG
(双)11.14KG
MDX 500W
1 kW 和1.5 kW
MDX 系列1 kW 和1.5 kW 电源在真空环境中经久耐用,其小巧的尺寸使其成为实验室系统的理想解决方案。它们最常用作直流磁控溅射电源;在该领域,二者精密的调节性能、一流的灭弧功能和较低的存储输出能量使之成为业界领先产品。它们还在射频溅射和蚀刻系统中被用作精密调节的偏压电源。
优势
:
●针对标准 Z 和低 Z 应用的两种配置
●高频开关电路从线路到负载的效率超过90%
●Arc-Out™ 抑制电路
●常用作直流磁控溅射电源
特点
:
●尺寸小
●输出纹波很低
●可调节抑弧时间
规格:
●输出功率:MDX 1KW:1000W,MDX 1.5KW:1500W
●输出电压:1000V,1300V;500V,750V
●点火电压:1500V;900V,1200V
●输入电压/电流:MDX 1KW:115VAC,50/60HZ±10%,16Amax;
208/220VAC 50/60HZ±10%,8.9A
●MDX 1.5KW:208/220VAC 50/60HZ±10%,13.4A
●尺寸:175.3×266.7×400mm
●重量:8.6KG
MDX 1KW
、
1.5KW
联系方式
中国自动化网安全提示,在购买供应商商品时,请一定要先审核好企业信息是否真实,谨防网上诈骗。
公司名称:深圳利方达科技有限公司
联系人: 刘建辉
联系电话:18620085190
手机号:
传 真:010-60780065
电子信箱:hui7912@163.com
公司网站:http://www.leyfond.net
公司地址:回龙观西大街9号院东亚上北中心11#1-520室
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