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Angstrom Sciences溅射阴极及靶材

分类：高压电源
品牌：AALBORG（美国）
厂商：深圳利方达科技有限公司
型号：ONYX
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发布时间：2010-12-08 09:23
浏览人数：人

产品详情

安斯超公司对磁控溅射靶阴极的磁体外形和冷却循环结构进行了科学合理地优化设计，并且选取更强的磁体（比稀土磁体强30％），从而使安斯超的靶阴极比常规的靶阴极具有更为卓越的性能。
核心专利技术及特点：
1. 特殊设计的磁体结构，使得磁场线跨度范围更宽，从而提高靶材的利用率和膜层的均匀性
2. 湍流冷却技术，使得水流能够更平缓的进入阴极，从而提高冷却效果
3. 特殊设计的耙材固定结构，使得耙材更换起来更简单，降低停工期
4. 超强的磁体材料 NdFeB，他的强度比其他的稀土磁体要强30%
优势
> 极高的靶材利用率，最高可以达到50%，从而降低靶材成本
> 极好的产品均匀性，最高可以达到±3%
> 可以在更低的真空以及更高的功率下运行：最低压力可以达到10-4TOR
> 我们的直接水冷结构可以提高其功率密度达到250Watt s/in2
> 提高沉积速率
> 多样的复合设计
> 高标准高效率

联系方式

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公司名称：深圳利方达科技有限公司
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