ZPM150型溅射薄膜压力传感器采用溅射工艺，在压力介质直接作用的17-4PH不锈钢膜片上，以分子键合的方式制作出“微米”级的电阻膜。在压力作用下，膜片变形使桥路的电阻几何尺寸和阻值发生改变,电桥输出相应电信号。经过微电子工艺制作出的惠斯登电桥，和膜片组成全金属型敏感元件，无任何粘贴剂和活动部件，无密封腔和充油腔，因此具有适用恶劣环境和长期在-70～200℃工作温度下稳定工作的特点。
ZPM150型溅射薄膜压力传感器生产过程中传感器经过了严格的高、低温循环，经过了两千次的疲劳处理。产品具有准确度高，工作温度范围宽，温漂小，高稳定，高可靠，抗振动，抗冲击，抗辐射的工作特点。广泛应用于航天、交通、电力、工程机械、汽车制造、石油化工、冶金制造等行业。
压力量程（MPa）：0.5, 0.7, 1.0, 1.6, 2, 3.5, 7, 10, 16, 25, 40, 70,100, 160, 180, 220
允许过负载（% FS）：200% （破坏压力：10倍满量程压力）
热零点漂移（%FS℃）：小于0.005
热灵敏度漂移（%FS℃）：小于0.005
长期稳定性（%FS/年）：小于＋0.1
工作温度范围（℃）：-70℃～200℃（特殊要求从-100℃～300℃）
桥臂电阻（KΩ）：3.2＋0.2
绝缘电阻（MΩ）：大于500
频率响应 ：大于10KHZ
灵敏度（mV/V）及非线性
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量程（MPa）
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0.5
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0.7
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1
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1.6
|
2
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3.5
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灵敏度
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0.99±0.25
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1.27±0.25
|
1.21±0.2
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1.24±0.2
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1.30±0.2
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1.67±0.2
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最大非线性
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0.4
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0.35
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0.2
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0.15
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0.15
|
0.15
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量程（MPa）
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7
|
10
|
16
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25
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40
|
70
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灵敏度
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1.81±0.2
|
2.26±0.3
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1.98±0.3
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2.19±0.3
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2.13±0.2
|
2.26±0.2
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最大非线性
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0.15
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0.15
|
0.15
|
0.15
|
0.10
|
0.10
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量程（MPa）
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100
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160
|
180
|
220
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灵敏度
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1.33±0.25
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1.40±0.25
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1.08±0.2
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1.30±0.2
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最大非线性
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0.05
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0.05
|
0.05
|
0.05
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