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薄膜应变计由多层(陶瓷绝缘层、NiCr 合金电阻层、Au焊盘、SiO2保护层)溅射薄膜组成,总厚度不超过4μm,采用溅射、刻蚀工艺直接形成在不锈钢弹性膜片上,彻