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光纤传感器应用:晶圆片槽口的定位

发布时间:2009-09-15 09:24   类型:应用案例   人浏览

光纤传感器应用:晶圆片槽口的定位

 点的直径0.1mm,极小,也可以进行槽口的高精度定位

数字光纤单元:FF-20

型号:FFTS-310

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