设备功能介绍：
本设备主要用于晶体硅太阳能电池制造中硅片的扩散掺杂。扩散是半导体工艺生产中的一种关键工艺，通过扩散所形成的PN结，就是晶体硅太阳能电池的核心。
应用产品型号：
MSST10-Q-RN、23HS3002-29、STM23S-3RE、23HS3811-04
产品应用介绍：
热扩散炉用2个MSST10-Q-RN、2个23HS3002-29；
（PECVD用1个STM23S-3RE、1个MSST10-Q-RN、1个23HS3811-04）
步进电机用于驱动图中四个黑框里的模块上下、前后移动，一个电机装在模块上，通过变速箱+丝杠带动模块做上下运动，一个电机通过皮带+滚珠丝杠带动模块水平运动。
设备中共有四个工控机，每个工控机控制两个驱动器（一个模块）。
目的是送料进入炉中，或从炉中取料出来。
应用环境参数：
负载：同步带负载，长度3米。
上位机：研祥工控机，
控制模式：主机控制模式，SCL语言编程，客户自己编写程序；RS485通讯，两轴控制，无需插补运动；正反转限位提供机械保护；
电源：24V开关电源；
细分：20000 step/rev；
速度：300rpm；
动作，低速往复运动，运行10分钟，静止1小时。
客户选用的原因：
主机编程控制，实现全数字化控制，抗干扰能力强。
