埃米级电涡流位移传感器SMU9000
基于独特的脉冲宽度调制器，融合了最新的表面安装组件和PCB设计。
满足OEM对性价比的要求，并且能兼顾线性精度和热稳定性。并可根据客户需求定制。
特点：
超高分辨率，1埃
信噪音比：1PPM
精确度0.1%，通过计算机校准
小尺寸，易于集成；2通道小于5.5立方英寸
多种配置：9000单通道，9200双或平衡差分操作，3和4通道模型。
丰富的传感器选件
低功耗：<40mW/通道
主要指标：
使用于被测材料为铝、铜等导电材料。SMU9000 单双通道；SMU9200 为3～4通道
－分辨率1诶
－信号噪声比小于0.1%
－量程：0～0.88mm/ 0～12mm
－线性可优化到0.1%
－频响：0～10KHZ

典型应用：
光学平台位置测量
半导体和光器件的研磨
半导体模板对齐系统
蒸镀系统
电子显微镜垂直轴定位
原子显微镜垂直轴定位
磁悬浮轴控制
部件研磨加工的精确定位
镜片控制
物质收缩测试测量
机械结构变形探测与测试
应用举例：
半导体圆晶片和模板（刻线）检测（凯盟的系统提供位置反馈信号将晶片或模板带入初始焦点，光学系统随后进行最终的聚焦。）
读写头制造，研磨板定位（通过3个双通道单端系统，监控读写头相对研磨板的位置）
飞机制造：动态铆钉高度检测
高精度3通道照相平台位置测量
高精度照相平板台高度位置测量
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