分类：位移传感器 品牌：ZSY-真尚有 厂商：深圳市真尚有科技有限公司 型号：ZNXSENSOR 相关行业：
该传感器是一种非接触式的电容位移传感器；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个传感器可用在两个不同的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。
应用领域
压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。
主要特点
◆
量程20～1250μm；
分辨率<0.1nm；零磁滞；
线性最高0.02%；
频带可调：50～5000Hz；灵敏度可调；
真空兼容选项；
双极性电容传感器工作示意图
相关产品
传感器型号
ZNXA
ZNXB
ZNXC
ZNXD
小量程μm
-
20
100
250
灵敏度μm/V
2
10
25
噪音nm rms Hz-1/2
<0.001
<0.005
<0.013
温漂nm/K
1
4.4
11
线性度%
<0.08
<0.03
<0.06
大量程μm
50
500
1250
5
125
<0.015
<0.075
<0.188
2.2
22
55
<0.05
频响Hz
50/500/5000
控制器型号
NS2000
NPS2110
S2000和NS模块
NPS3330
传感器通道最大个数
14
3
供电
±15V，70mA
90～130V或220～260V
90～110V或110～130V或220～260V
90～260V
模拟输出V
±5
数字输出
16位(可选)
7位浮点数
频响KHz
12.5