目标

      1对于在应用于半导体晶片的成产的平板影印术过程中，精确测定Z轴位置，精度保持在亚原子水平。

      2 保持高分辨率和可重复性。

      3 避免不良的影响，例如 抖动，磁滞，以及热漂移等一些列在其他阶段处理中发生的情况。

解决方案 

      纳米级位移传感器在精确控制Z轴高度的过程中，晶片所在的位置必须精确地在能源的焦平面上。Kaman系统可以准确测量Z轴的位置，并且提供了模拟和数字两种输出信号，以防止超出可承受范围。

特点

     1 类型：SMT-9700

     2 非接触性：应用涡电流的技术，每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。

     3 高分辨率：系统可分辨出1纳米的位置改变。

     4 可重复使用。

     5 应用广泛。

纳米级位移传感器解决方案

     在沉淀开始前，Kaman传感器确保金属盘与喷洒器保持平行的位置关系，喷洒器用来均匀喷射气体(如图所示)。传感器则用来做校准装置，这样校准可以定位金属盘在一个最合适的位置。Kaman系统提供了模拟和数字两种输出信号，以防止信号值超出可承受范围。如果金属盘倾斜，制动装置将校正其位置。

 纳米级位移传感器特点

      1类型：SMT-9700

      2 直接测试： 一个环直接连接到弹簧浮板传感器可以直接测试气体喷射器的位置。

      3 无需接触：应用涡电流的技术，每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。

      4  应用广泛。

纳米级位移传感器能静态和动态地非接触、高线性度、高分辨力地测量被测金属导体距探头表面的距离。它是一种非接触的线性化计量工具。电涡流传感器能准确测量被测体（必须是金属导体）与探头端面之间静态和动态的相对位移变化。

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