纳米级位移传感器应用领域
应用于光盘、硬盘的在线检测，还可以应用于电机等强磁场测振和表面轮廓测量。
具有100微米的量程和15纳米的分辨率。纳米级位移传感器的起始测量距离是3mm，对于被测体有较宽的适用范围，比如金属，半导体和玻璃。该传感器可以很容易与现有设计相接合，而且具有较大的基准距，纳米级位移传感器可以相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量，振动测量，表面轮廓测量，ZLDS/N-100纳米级位移传感器都是一款理想的测量工具。



纳米级位移传感器主要特点
高分辨率，可替代电容式传感器；
对电磁场不敏感，可用于电机等强磁场测振；
宽频带，可测高频振动体；
对被测体表面要求低，反射率4～100%均可用；



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技术规格：
技术参数 ZLDS/N-100
量程μm 100
分辨率nm 15
线性度μm ±5
重复性nm ±75
信号接收范围μm ±400
带宽KHz 100
允许表面反射度% 4～100
传感器探头基准距mm 3.0
垂直容忍度 ±0.1°
供电 ±12VDC @80mA
传感器体长mm 58.7
测量点直径μm 100

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