基于光纤传感的液体有无状态平等检测方案
发布时间:2025-08-21 17:16 类型:
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【行业】SEMI
【设备】清洗机/CDS/SDS
【用途】去除晶圆表面的颗粒污染物、氧化层等
■ 按照生产要求,需要至少对四个液位位置(上限位置、供给停止位置、供给开始位置、下限位置)进行判定。
■ 检测液位上下限的要求不同。
核心产品
光纤传感器E32-E32-A01/A02(卡管型)
光纤放大器E3NX-FA
■ 考虑到断线时的安全,备有有液体状态(A01)和无液体状态(A02)下的入光两种类型。
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